광 디바이스 및 연관된 시스템

정렬 시스템은 기준 평면에서 원하는 위치 및 기준 평면에서 원하는 방향으로 레이저 빔을 정렬한다. 시스템은 상이한 렌즈를 사용하여 검출 평면으로 투영되는 상이한 회절 차수들로 레이저 광을 회절시킨다. 검출 평면에서 상이한 회절 차수들의 투영 위치는 기준 평면에서 빔의 위치와 방향의 변동에 상이하게 반응하므로, 투영 위치는 빔을 적절히 정렬하기 위해 빔을 어떻게 조정해야 하는지를 결정하는 것을 가능하게 한다. 회절과 투영은 홀로그램에 의해 구현될 수 있다. An alignment system aligns a laser beam to...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: VAN DER PASCH ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS, BLEEKER ARNO JAN, STRUYCKEN ALEXANDER MATTHIJS, VAN DRIEENHUIZEN BERT PIETER, OEMRAWSINGH SUMANT SUKDEW RAMANUJAN
Format: Patent
Sprache:kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:정렬 시스템은 기준 평면에서 원하는 위치 및 기준 평면에서 원하는 방향으로 레이저 빔을 정렬한다. 시스템은 상이한 렌즈를 사용하여 검출 평면으로 투영되는 상이한 회절 차수들로 레이저 광을 회절시킨다. 검출 평면에서 상이한 회절 차수들의 투영 위치는 기준 평면에서 빔의 위치와 방향의 변동에 상이하게 반응하므로, 투영 위치는 빔을 적절히 정렬하기 위해 빔을 어떻게 조정해야 하는지를 결정하는 것을 가능하게 한다. 회절과 투영은 홀로그램에 의해 구현될 수 있다. An alignment system aligns a laser beam to a desired position in a reference plane and to a desired direction in the reference plane. The system diffracts the laser light into different diffraction orders that are projected onto a detection plane using different lenses. As the locations of the projections of the different diffraction orders in the detection plane respond differently to changes in position and in direction of the beam in the reference plane, the locations of the projections enable to determine how to adjust the beam so as to get the beam properly aligned. The diffraction and the projection can be implemented by a hologram.