HYBRID LIFT PIN
Disclosed are a lift pin, a substrate support assembly having a lift pin and a reactor. The lift pin includes: a first section including a material having first transparency; and a second section including a material having second transparency. The lift pin can provide improved temperature uniformit...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
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| Zusammenfassung: | Disclosed are a lift pin, a substrate support assembly having a lift pin and a reactor. The lift pin includes: a first section including a material having first transparency; and a second section including a material having second transparency. The lift pin can provide improved temperature uniformity over the substrate support assembly having the lift pin when processing a substrate process.
리프트 핀, 및 리프트 핀을 포함하는 기판 지지 어셈블리 그리고 반응기가 개시된다. 리프트 핀은 제1 투명도를 갖는 재질을 포함하는 제1 섹션과 제2 투명도를 갖는 재질을 포함하는 제2 섹션을 포함한다. 리프트 핀은 기판 공정 처리 중에, 리프트 핀을 포함하는 기판 지지 어셈블리에 걸쳐 개선된 온도 균일성을 제공할 수 있다. |
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