MLCC TRAY FOR MANUFACTURING PROCESS OF MULTI LAYER CERAMIC CAPACITOR

The present invention relates to an MLCC manufacturing process tray, and more particularly, to an MLCC manufacturing process tray which is used in a sintering process of MLCC manufacturing processes; has low heat capacity, thereby reducing energy consumption; and uses a material having high thermal...

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Hauptverfasser: KIM JI YOO, MOON HEUNG SOO, HAN JIN WON
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention relates to an MLCC manufacturing process tray, and more particularly, to an MLCC manufacturing process tray which is used in a sintering process of MLCC manufacturing processes; has low heat capacity, thereby reducing energy consumption; and uses a material having high thermal shock resistance to minimize a MLCC defect rate, thereby having a long life cycle. The present invention provides the MLCC manufacturing process tray used in the sintering process of the MLCC manufacturing processes. A silicon carbide substrate, having a plurality of through holes penetrating through upper and lower surfaces thereof, is first coated with silicon or mullite, and then the silicon or the mullite is secondarily coated with stabilized zirconia. The plurality of through holes are spaced apart from each other to be arranged at regular intervals in the transverse and longitudinal directions of the silicon carbide substrate. 본 발명은 MLCC 제조공정용 트레이에 관한 것으로, 구체적으로는 MLCC 제조 공정 중 소결공정에 사용되는 것으로서 낮은 열용량으로 인해 에너지 소모량을 줄일수 있고 MLCC의 불량률을 최소화할 수 있도록 열충격 저항성이 높은 소재를 사용함에 따라 긴 수명주기를 갖는 MLCC 제조공정용 트레이에 관한 것이다. 본 발명은 MLCC 제조공정 중 소결공정에 사용되는 트레이로서, 상하면을 관통하는 관통공이 복수로 형성된 실리콘 카바이드 기판에 실리콘 또는 멀라이트(Mullite)가 1차로 코팅된 후, 그 위에 안정화 지르코니아(stabilized zirconia)가 2차로 코팅되고, 상기 복수의 관통공은 상호 이격되어 상기 실리콘 카바이드 기판의 가로 방향 및 세로 방향을 따라 일정 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 MLCC 제조공정용 트레이를 제공한다.