수직 기판 홀더

여기에 기술된 것은 기판을 거의 수직 위치로 유지시키는 장치이고, 설계는 변화하는 온도 조건 하에서 기판이 팽창 및 수축하는 동안 기판의 처짐을 최소화한다. 상기 장치는 기판 상의 응력을 최소화하여 기판이 코팅 및 다른 열적 과정을 겪는 동안 기판의 파손 또는 손상을 방지한다. Described herein are apparatuses for holding a substrate in a near vertical position, wherein the design minimizes substrate sag while allowing the substrate to expand and contract under varying thermal conditions. The apparatus minimizes the stress on the substrate, preventing breakage of or damage to the substrate while it undergoes coating and other thermal processes.