Carrier vehicle and micro particle monitoring system using the same

According to the present invention, a transfer vehicle includes: a moving unit moving in a clean room and transferring an object to a target position; a fine particle probe part into which air containing a fine particle in the clean room is introduced; a sensor part connected to the fine particle probe part through a first connection pipe and sensing the fine particle introduced into the fine particle probe part; and an inhaler connected to the sensor part through a second connection pipe and providing inhaling force to the fine particle probe part through the first connection pipe and the second connection pipe so that the air containing the fine particle is introduced thereinto, wherein the air containing the fine particle can sequentially flow in the fine particle probe part, the first connection pipe, the sensor part, the second connection pipe and the inhaler. 본 발명에 따른 반송대차는 클린룸 내부에서 이동하여 대상물을 목표위치까지 반송하는 이동 유닛; 상기 클린룸 내부의 미세입자를 함유한 공기가 유입되는 미세입자 프로브부; 상기 미세입자 프로브부와 제1 연결관을 통해 연결되며, 상기 미세입자 프로브부로 유입된 미세입자를 감지하는 센서부; 및 상기 센서부와 제2 연결관을 통해 연결되며, 상기 미세입자를 함유한 공기가 유입되도록 상기 제1 연결관 및 제2 연결관을 통해 상기 미세입자 프로브부에 흡입력을 제공하는 흡입기를 포함하고, 상기 미세입자를 함유한 공기는 상기 미세입자 프로브부, 제1 연결관, 센서부, 제2 연결관 및 흡입기 순으로 유동할 수 있다.