SENSOR MATERIAL DEPOSITED WITH A METAL OXIDE AND GAS SENSORS INCLUDING THE SAME

SENSOR MATERIAL DEPOSITED WITH A METAL OXIDE AND GAS SENSORS INCLUDING THE SAME

환원성 가스가 흡착되면 전기저항이 변화되는 기능성 레이어가 증착된 복합 센서소재와, 그것을 이용하여 가스를 고민감도로 검출하는 견고한 구조의 가스센서에 관한 기술로서, 1μm 내지 10μm의 폭을 가지는 지지체와, 지지체에 증착되며 환원성 가스와 반응하여 전기저항이 변화되는 기능성 레이어를 포함한다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LEE CHANGWOO, HAN HYUKSU, JEONG YOUNGKYU
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	APPARATUS THEREFOR CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTROFORMING ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING METALLURGY PHYSICS PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTIONOF COATINGS SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	환원성 가스가 흡착되면 전기저항이 변화되는 기능성 레이어가 증착된 복합 센서소재와, 그것을 이용하여 가스를 고민감도로 검출하는 견고한 구조의 가스센서에 관한 기술로서, 1μm 내지 10μm의 폭을 가지는 지지체와, 지지체에 증착되며 환원성 가스와 반응하여 전기저항이 변화되는 기능성 레이어를 포함한다.