Nozzle for cleaning substrate

The present invention relates to a nozzle for cleaning a substrate, which can spray a cleaning liquid, capable of cleaning the substrate, to the substrate. The nozzle comprises: a first body made of a resin material to form one part of a cleaning liquid flow path, on which the cleaning liquid for cleaning the substrate can flow, on one surface and to form a cleaning liquid supply hole penetrated from the other surface to the cleaning liquid flow path on the one surface to be capable of supplying the cleaning liquid; a second body made of a resin material to form the other part of the cleaning liquid flow path on one surface coupled to the first body and to form a plurality of spraying holes, penetrated from the cleaning liquid flow path to a cleaning liquid spraying surface, along the cleaning liquid flow path to be capable of spraying the cleaning liquid to the substrate; a fusing protrusion formed in the first body or the second body to protrude along the cleaning liquid flow path to be capable of being partially fused during ultrasonic fusion such that the first body can be coupled to the second body through the ultrasonic fusion; and a fusing protrusion holding unit formed in the first body or the second body along the cleaning liquid flow path to be capable of holding the fusing protrusion. 본 발명은 기판을 세정할 수 있는 세정액을 기판으로 분사할 수 있는 기판 세정용 노즐에 관한 것으로서, 수지 재질로 형성되어, 일면에 기판을 세정하기 위한 세정액이 유동할 수 있는 세정액 유로의 일부분이 형성되고, 상기 세정액을 공급할 수 있도록 타면으로부터 일면의 상기 세정액 유로까지 관통되게 세정액 공급구가 형성되는 제 1 몸체와, 수지 재질로 형성되어, 상기 제 1 몸체와 결합되는 일면에 상기 세정액 유로의 타부분이 형성되고, 상기 기판으로 상기 세정액을 분사할 수 있도록 상기 세정액 유로로부터 세정액 분사면으로 관통되게 형성되는 분사구가 상기 세정액 유로를 따라 복수개가 형성되는 제 2 몸체와, 상기 제 1 몸체와 상기 제 2 몸체를 초음파 융착으로 결합시킬 수 있도록, 상기 제 1 몸체 또는 상기 제 2 몸체에 상기 세정액 유로를 따라 돌출되게 형성되어 초음파 융착 시 일부분이 용융될 수 있는 융착 돌기 및 상기 제 2 몸체 또는 상기 제 1 몸체에 상기 세정액 유로를 따라 상기 융착 돌기와 대응되는 형상으로 형성되어 상기 융착 돌기를 수용할 수 있는 융착 돌기 수용부를 포함할 수 있다.