CARRIER FILM FOR TRANSFERRING MICRO-DEVICE

One embodiment of the present invention is to provide a carrier film for micro device transfer which can generally provide a uniform pressing force on a micro device when pressing the micro device, and prevent damage to the micro device. The carrier film for micro device transfer comprises a weight control layer and an adhesion layer. The weight control layer has a first elastic coefficient and has a space at a part of the inside. The adhesion layer has a second elastic coefficient less than the first elastic coefficient, is provided at an upper part of the weight control layer, and has a micro device, which is transferred to a target substrate, attached thereon. The weight control layer has a plurality of zero stiffness regions where different stress is maintained in a deformation section. 본 발명의 일실시예는 마이크로 소자를 가압 시에 마이크로 소자에 전체적으로 균일한 가압력이 제공되도록 하고, 마이크로 소자의 손상이 방지되도록 할 수 있는 마이크로 소자 전사용 캐리어 필름을 제공한다. 여기서, 마이크로 소자 전사용 캐리어 필름은 하중제어층 그리고 점착층을 포함한다. 하중제어층은 제1탄성계수를 가지고, 내부 일부에 공간이 형성된다. 점착층은 제1탄성계수보다 작은 제2탄성계수를 가지고 하중제어층의 상부에 마련되고 타겟기판에 전사될 마이크로 소자가 점착된다. 하중제어층은 변형구간에서 서로 다른 응력이 유지되는 복수의 제로강성영역을 가진다.