SHOWERHEAD AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS HAVING THE SAME

According to one embodiment of the present invention, provided is a shower head comprising: a gas supply channel having a first surface and a second surface opposite to the first surface and connected to the first surface so as to introduce a gas; and a main body portion having a plurality of gas in...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: UM JUNG HWAN, BAN DAE GYU
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:According to one embodiment of the present invention, provided is a shower head comprising: a gas supply channel having a first surface and a second surface opposite to the first surface and connected to the first surface so as to introduce a gas; and a main body portion having a plurality of gas injection openings connecting the gas supply channel and the second surface such that the gas introduced from the gas supply channel is injected on the second surface, wherein the second surface has first and second regions divided by a first line passing through the center thereof, the plurality of gas injection openings are inclined in a direction substantially perpendicular to the first line so as to be injected in a direction away from the first line, and the gas injection openings in the first region and the gas injection openings in the second region are inclined in directions opposite to each other. 본 발명의 기술적 사상에 따른 일 실시예는, 제1 면과 상기 제1 면에 반대에 위치하는 제2 면을 가지며, 상기 제1 면에 연결되어 가스가 유입되도록 구성된 가스 공급 채널과, 상기 가스 공급 채널로부터 유입된 가스가 상기 제2 면에서 분사되도록 상기 가스 공급 채널과 상기 제2 면을 연결하는 복수의 가스 분사구들을 구비한 본체부를 포함하며, 상기 제2 면은 그 중심을 지나는 제1 라인으로 구분되는 제1 및 제2 영역을 가지며, 상기 복수의 가스 분사구들은 상기 제1 라인으로부터 멀어지는 방향으로 분사되도록 상기 제1 라인과 거의 수직인 방향으로 경사지되, 상기 제1 영역의 가스 분사구들과 상기 제2 영역의 가스 분사구들은 서로 반대 방향으로 경사진 샤워 헤드를 제공한다.