유량 비율 제어 장치, 유량 비율 제어 장치용 프로그램, 및 유량 비율 제어 방법

목표 유량 비율을 달성 가능할 뿐만 아니라, 당해 목표 유량 비율을 달성하기까지 걸리는 시간을 제어할 수 있는 유량 비율 제어 장치를 제공하기 위해서, 메인 유로와, 상기 메인 유로의 종단으로부터 분기하는 복수의 분기 유로와, 각 분기 유로에 마련되고, 각각이 밸브, 및 상기 밸브의 하류측에 배치된 압력식의 유량 센서를 구비하는 복수의 유체 제어 장치와, 목표 유량 비율에 기초하여, 복수의 유체 제어 장치 중 어느 1개의 유체 제어 장치에는 각 밸브보다도 상류측에 있어서의 유체의 유속을 제어하기 위한 유속 제어 모드로 동작시키고, 그 이외의 유체 제어 장치에는 상기 목표 유량에 기초하여 유량을 제어하는 유량 제어 모드로 동작시키도록 설정하는 동작 설정부를 구비했다. A flow rate ratio control device is provided with a main flow path, a plurality of branch flow paths that branch off from a terminus of the main flow path, a plurality of fluid control devices that are provided respectively on each branch flow path, and that are each equipped with a valve and a pressure-based flow rate sensor that is disposed downstream of the valve, and an operation setting unit that establishes settings such that, based on the target flow rate ratio, any one fluid control device from among the plurality of fluid control devices is made to operate in a flow velocity control mode in which the flow velocity of a fluid is controlled upstream of each valve, and the remaining fluid control devices are made to operate in a flow rate control mode in which the flow rate is controlled based on the target flow rates.