Quartz heater

The present invention relates to a quartz heater, capable of equally heating a supported substrate. To this end, disclosed is a quartz heater, including: a base plate coupled to a shaft; a plurality of plates which is stacked and coupled onto the base plate and in which each heating element inserting groove is formed along an inner zone and an outer zone in a predetermined pattern; and a cover plate stacked and coupled onto one plate of the plurality of plates, wherein an outer zone thermocouple inserting groove for sensing temperature of the outer zone is formed. The base plate, the plurality of plates and the cover plate are made of quartz. 본 발명은 쿼츠 히터에 관한 것으로서, 지지되는 기판을 균일하게 가열할 수 있는 쿼츠 히터에 관한 것이다. 이를 위해 샤프트와 결합되는 베이스 플레이트, 베이스 플레이트상에 적층 결합되며, 발열체 삽입홈이 이너존과 아우터존을 따라 기 설정된 패턴으로 각각 형성되는 복수의 플레이트, 및 복수의 플레이트 중 어느 한 플레이트상에 적층 결합되는 덮개 플레이트를 포함하며, 아우터존의 온도를 감지하기 위한 아우터존 열전대 삽입홈이 형성되며, 상기, 베이스 플레이트, 복수의 플레이트, 덮개 플레이트는 쿼츠로 이루어지는 것을 특징으로 하는 쿼츠 히터가 개시된다.