RELIEF VALVE AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

The present invention is to provide a relief valve having a simple structure and provide a technique by which a pressure difference can be instantaneously entered into a set range even if there is a pressure variation between processing regions and other regions, in an apparatus in which processing is performed on a substrate under a vacuum region and the two regions are partitioned through a partition member in a processing chamber. The relief valve comprises: a first valve body (51) having an annular shape including a peripheral portion at an upper side thereof, peripheral portion being pressed against a hole edge portion of a communication hole (42) for communicating a processing region (S1) and a heater region (S2); a second valve body (53) pressed against an upper surface side at a hole edge portion of an opening (51a) of the first valve body (51) to close the opening (51a); a first spring (52) including a compression spring for pressing the first valve body (51) against the hole edge portion of the communication hole (42); and a second spring (54) including a tension spring for pressing the second valve body (53) against the hole edge portion of the opening (51a). 본 발명은, 구조가 간소한 릴리프 밸브를 제공하는 것, 및 진공 영역 하에서 기판에 대하여 처리를 행하고, 처리 용기 내에서 처리 영역과 다른 영역이 구획 부재를 통해서 서로 구획되는 장치에 있어서, 양 영역의 사이에 압력 변동이 있어도 순간적으로 압력차가 설정 범위에 들어갈 수 있는 기술을 제공하는 것이다. 처리 영역(S1)과 히터 영역(S2)을 연통하기 위한 연통구(42)의 구멍 테두리부에 그 상측에서의 주연부가 압박되는 환상의 제1 밸브체(51)와, 제1 밸브체(51)의 개구부(51a)의 구멍 테두리부에서의 상면측에 당해 개구부(51a)를 막도록 압박되는 제2 밸브체(53)와, 제1 밸브체(51)를 연통구(42)의 구멍 테두리부에 압박하기 위한 압축 스프링으로 이루어지는 제1 스프링(52)과, 제2 밸브체(53)를 상기 개구부(51a)의 구멍 테두리부에 압박하기 위한 인장 스프링으로 이루어지는 제2 스프링(54)을 구비한다.