초순수 제조 장치

유즈 포인트에 송수되는 초순수를 가온하여 온초순수로 하기 위한 열교환기의 열원 비용을 저감시킬 수 있음과 함께, 1 차 순수를 냉각시키기 위한 비용을 저감시킬 수 있는 초순수 제조 장치를 제공한다. 서브 시스템 (4) 으로부터의 2 차 순수를 열교환기 (6), 열교환기 (10) 및 열교환기 (12) 로 가열하여 유즈 포인트로 보낸다. 열교환기 (6) 의 열원은 유즈 포인트로부터의 리턴 온초순수이다. 이 리턴 초순수는, 열교환기 (6) 및 열교환기 (43) 로 강온된 후, 서브 탱크 (2) 에 도입된다. 열교환기 (10) 에는, 히트 펌프 (20) 로 가열된 제 1 매체수가 순환 통수된다. 히트 펌프 (20) 의 증발기 (21) 에는 제 2 매체수가 순환된다. 제 2 매체수의 순환 유로에는, 유즈 포인트 (40) 로부터의 온배수가 통수되는 열교환기 (26) 가 설치되고, 열교환기 (26) 보다 상류측에 열교환기 (43) 가 형성되어 있다. Provided is an ultrapure water manufacturing device that can reduce the heat source cost of a heat exchanger, said heat exchanger being for heating ultrapure water sent from a use point to produce warm ultrapure water, said ultrapure water manufacturing device also being able to reduce costs for cooling primary pure water. Secondary pure water from a subsystem 4 is heated with a heat exchanger 6, a heat exchanger 10, and a heat exchanger 12, and is sent to a use point. A heat source of the heat exchanger 6 is returning warm ultrapure water from the use point. This returning ultrapure water is introduced into a subtank 2 after having the temperature thereof reduced with the heat exchanger 6 and a heat exchanger 43. A first medium water that has been heated with a heat pump 20 is circulated and passed through the heat exchanger 10. A second medium water is circulated to a vaporizer 21 of the heat pump 20. A heat exchanger 26 through which warm discharge water from the use point 40 is passed is positioned on the circulation flow path of the second medium water, and the heat exchanger 43 is provided further to an upstream side than the heat exchanger 26.