POLYMERS FROM BIS-ARYLCYCLOBUTENE GROUP CONTAINING MONOMERS THAT CURE THROUGH OTHER GROUPS AND METHODS FOR MAKING THE SAME

The present invention provides an organic solvent-soluble or aqueous alkali-soluble polymer composition comprising, in a copolymerized form, one or more bis-arylcyclobutene monomers and second monomers containing one or more olefin or dienophile group, wherein the polymer is substantially free of (unreacted) acrylcyclobutene groups. The composition is cured separately from the B-step reaction which consumes substantially all arylcyclobutene groups in the composition and is cured at temperatures below a curing temperature of less than 210 °C, preferably less than 180 °C. The polymer composition is used in manufacturing films or coatings and is aqueous or organic solvent developable when being used in photolithography. A method for manufacturing the polymer composition is also provided. 본 발명은 공중합 형태로 하나 이상의 비스-아릴시클로부텐 단량체 및 하나 이상의 올레핀 또는 친디엔기를 함유하는 제2 단량체를 포함하는 유기용매 가용성 또는 수성 알칼리 가용성 중합체 조성물을 제공하고, 중합체에는 (미반응된) 아릴시클로부텐기가 실질적으로 존재하지 않는다. 조성물은 실질적으로 조성물 중의 아릴시클로부텐기를 모두 소비하는 B-단계 반응과는 별도로 경화된다; 조성물은 210 ℃ 미만, 바람직하게는 180 ℃ 미만의 경화 온도 이하의 온도에서 경화된다. 중합체 조성물은 필름 또는 코팅물 제조에 사용되며 포토리소그래피에 사용되는 경우 수성 또는 유기 용매 전개성이다. 중합체 조성물의 제조 방법이 또한 제공된다.