METHOD FOR GRINDING A WORKPIECE

An objective of the present invention is to prevent scratches from being formed on a rear surface or prevent cracks from being generated in a workpiece due to the intrusion of separated abrasive grains during grinding in a grinding method for forming a ring-shaped reinforcement part on the rear surface of a workpiece. According to the present invention, a method for grinding the rear surface (Wb) of a workpiece (W) having a device area (Wa1) and an external margin area (Wa2) on a surface (Wa) with a grinding stone (42b) comprises: a protection step of covering the surface (Wa) of the workpiece (W) with a protection member (T1); a step of holding a protection member (T1) side on a holding surface (30a) of a chuck table (3) rotated on a rotary shaft (33) tilted by an angle of 45 to 180° with respect to a perpendicular direction after performing the protection step; and a grinding step of grinding the rear surface (Wb) of the workpiece (W) corresponding to the device area (Wa1) with the grinding stone (42b) rotated on a rotary shaft (40) perpendicular to the holding surface (30a) while supplying grinding water to form a circular recessed part (Wb1) and a ring-shaped reinforcement part (Wb2) surrounding the circular recessed part (Wb1). In the grinding step, the discharge of the grinding water including separated abrasive grains is promoted by an inclination of the workpiece (W). (과제) 피가공물의 이면에 링상 보강부를 형성하는 연삭 방법에 있어서, 연삭 중의 탈락 지립의 혼입을 요인으로 하는 이면에 대한 스크래치의 형성이나 피가공물의 균열의 발생을 방지한다. (해결 수단) 디바이스 영역 (Wa1) 과 외주 잉여 영역 (Wa2) 을 표면 (Wa) 에 갖는 피가공물 (W) 의 이면 (Wb) 을 연삭 지석 (42b) 으로 연삭하는 방법으로, 피가공물 (W) 의 표면 (Wa) 을 보호 부재 (T1) 로 덮는 보호 스텝과, 보호 스텝 실시 후, 연직 방향에 대해 45 도 ∼ 180 도의 각도로 경사진 회전축 (33) 으로 회전하는 척 테이블 (3) 의 유지면 (30a) 으로 보호 부재 (T1) 측을 유지하는 스텝과, 유지면 (30a) 과 직교하는 회전축 (40) 으로 회전하는 연삭 지석 (42b) 으로 디바이스 영역 (Wa1) 에 대응하는 피가공물 이면 (Wb) 을, 연삭수를 공급하면서 연삭 하여 원형 오목부 (Wb1) 와 원형 오목부 (Wb1) 를 둘러싸는 링상 보강부 (Wb2) 를 형성하는 연삭 스텝을 포함하고, 연삭 스텝에서는, 탈락 지립을 포함하는 연삭수의 배출이 피가공물 (W) 의 경사에 의해 촉진된다.