냉동기

본 발명은 실질적으로 헬륨 및 오일을 포함하는 냉매를 압축하기 위한 압축기(10)를 갖는 냉동기, 특히 진공을 발생시키기 위한 크라이오펌프에 관한 것이다. 압축기와 함께, 오일 분리기(20, 22, 24, 26)가 냉매의 이송 방향의 하류에 배열된다. 본 발명은 또한 냉동 매체가 내부에서 팽창하는 냉각 장치(30)에 관한 것이다. 유해 가스를 흡착하기 위해, 흡착 장치(28)는 이송 방향에서 냉각 장치(30)의 상류에 배열된다. The invention relates to a refrigeration machine, in parti...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	FISCHER BERNHARD, WALTER GERHARD WILHELM, ASHCROFT JENNIFER, KALISCH DIRK
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BLASTING COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS HEAT PUMP SYSTEMS HEATING LIGHTING LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE MECHANICAL ENGINEERING REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS REFRIGERATION OR COOLING WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 실질적으로 헬륨 및 오일을 포함하는 냉매를 압축하기 위한 압축기(10)를 갖는 냉동기, 특히 진공을 발생시키기 위한 크라이오펌프에 관한 것이다. 압축기와 함께, 오일 분리기(20, 22, 24, 26)가 냉매의 이송 방향의 하류에 배열된다. 본 발명은 또한 냉동 매체가 내부에서 팽창하는 냉각 장치(30)에 관한 것이다. 유해 가스를 흡착하기 위해, 흡착 장치(28)는 이송 방향에서 냉각 장치(30)의 상류에 배열된다. The invention relates to a refrigeration machine, in particular a cryopump for generating a vacuum, having a compressor (10) for compressing a refrigerant substantially comprising helium and oil. Together with the compressor, an oil separator (20, 22, 24, 26) is arranged downstream in the delivery direction of the coolant. The invention further relates to a cooling device (30) in which the refrigeration medium expands. In order to adsorb harmful gases, an adsorption device (28) is arranged upstream of the cooling device (30) in the delivery direction.