POLYMER ORGANIC LAYER COMPOSITION ORGANIC LAYER AND METHOD OF FORMING PATTERNS
하기 화학식 1로 표현되는 구조단위를 포함하는 중합체, 상기 중합체를 포함하는 유기막 조성물, 및 상기 유기막 조성물을 사용하는 패턴형성방법에 관한 것이다. [화학식 1]상기 화학식 1의 정의는 명세서 내에 기재한 바와 같다....
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 하기 화학식 1로 표현되는 구조단위를 포함하는 중합체, 상기 중합체를 포함하는 유기막 조성물, 및 상기 유기막 조성물을 사용하는 패턴형성방법에 관한 것이다. [화학식 1]상기 화학식 1의 정의는 명세서 내에 기재한 바와 같다. |
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