WIRING SUBSTRATE FOR ELECTRONIC COMPONENT INSPECTION APPARATUS

The present invention provides a wiring substrate for electronic component inspection apparatus which prevents cracks from being easily created on ceramic on a back side of a first laminate of a ceramic material adjacent to an outer circumference of a flange of a stud even if an external force is applied in an axial direction of a plurality of bolts or nut cylinder shape bodies of a plurality of studs attached to the back side of the first laminate. The wiring substrate (1) for electronic component inspection apparatus comprises: a first laminate (3) which is formed by stacking a plurality of ceramic layers (c1, c2, c3) and has a surface (5) and a back side (6); and a plurality of studs (20a) attached to the back side (6) of the first laminate (3). The stud (20a) includes: a flange (21) which is circular when viewed from below; and a bolt (26) installed to be vertically erected on a center on an outer surface (23) of the flange (21). The flange (21) has the outer surface (23) from which the bolt (26) protrudes. The outer surface (23) has a convex curve towards the inner surface (22) of the flange (21) facing the back side (6) of the first laminate (3). (과제) 세라믹제의 제 1 적층체의 이면에 접합된 복수의 스터드의 볼트부 또는 너트 통형상체부에 대해서, 이것들의 축방향을 따르는 외력이 가해지더라도, 상기 스터드의 플랜지부의 외주연에 인접하는 제 1 적층체의 이면에 있어서의 세라믹에 크랙이 생기기 어려운 전자부품 검사장치용 배선기판을 제공한다. (해결수단) 복수의 세라믹층(c1∼c3)을 적층하여 이루어지며, 표면(5) 및 이면(6)을 가지는 제 1 적층체(3)와, 상기 제 1 적층체(3)의 이면(6)에 접합된 복수의 스터드(20a)를 구비하며, 상기 스터드(20a)는 저면측에서 보았을 때 원형인 플랜지부(21)와, 상기 플랜지부(21)의 외측면에 있어서의 중앙측에서 수직으로 세워지게 설치된 볼트부(26)로 이루어지고, 상기 플랜지부(21)는 볼트부(26)의 축방향을 따르는 수직 단면에 있어서, 상기 볼트부(26)가 돌출되는 외측면(23)이 제 1 적층체(3)의 이면(6)과 대향하는 상기 플랜지부(21)의 내측면(22)으로 향해서 볼록하게 되는 곡선을 가지고 있는 전자부품 검사장치용 배선기판(1).