검사 지그, 이를 구비하는 기판 검사 장치, 및 검사 지그의 제조 방법

검사 지그는, 검사 대상이 되는 기판에 설치되는 검사점에 대해서 프로브(Pr)를 접촉시키기 위한 검사 지그이며, 상기 기판에 대향해서 배치되는 대향면(F)이 설치된 대향 플레이트(51)를 갖는 검사측 지지체와, 상기 대향 플레이트(51)의 상기 대향면(F)과는 반대 측에 위치하는 전극판(9)에 대향해서 배치되는 지지 플레이트(61~63)를 갖는 전극측 지지체(6)를 구비하고, 지지 플레이트(61~63)에는, 프로브(Pr)의 후단부를 삽통시켜 지지하는 프로브 지지공(23)이 설치되고, 이 프로브 지지공(23)은, 대향 플레이트(51)의 대향면(F)과 직교하는 방향의 기준선(Z)에 대해, 일정 각도θ로 경사한 지지선(V)을 따라서 형성됨과 동시에, 이 지지선(V)의 경사 방향과 직교하는 방향으로 상기 프로브(Pr)의 후단부가 이동하는 것을 규제하는 규제면을 구비한다. This inspection jig is provided with: an inspection-side support member having a counter plate (51) provided with a facing surface (F) disposed to face the substrate; and an electrode-side support member (6) having supporting plates (61-63) disposed to face an electrode plate (9) located on the side opposite to the facing surface (F) of the counter plate (51) A probe supporting hole (23), into and by which the rear end portion of the probe (Pr) is inserted and supported, is provided in the supporting plates (61-63), and the probe supporting hole (23) is provided with a restricting surface which is formed along a supporting line (V) inclined at a certain angle (θ) with respect to a reference line (Z), and which restricts the rear end portion of the probe (Pr) from moving in the direction perpendicular to the inclined direction of the supporting line (V).