Substrate Transfer Unit With Pocket

An object of the present invention is to provide a chuck plate of a new structure, enabling the chuck plate as a substrate transfer apparatus to correspond to various substrate areas and capable of corresponding to a sagging degree and a sagging shape of the large area substrate, and bending and curving of the substrate while further lightening weight. The present invention forms a plurality of concave pocket structures on the chuck plate for lightening the chuck plate. In addition, the present invention leaves the inside of the pocket structure as an empty space or inserts a weight block as necessary, and fixed by a fixing member such as a bolt or the like to apply the weight block in a detachable manner. Therefore, the structure can correspond to the sagging degree and the sagging shape of the substrate. 본 발명의 목적은 기판 이송 장치로서의 척 플레이트를 다양한 기판 면적에 대해 대응할 수 있게 하고, 좀 더 경량화하면서 대면적 기판의 처짐 정도나 처짐 형상, 기판의 휨, 굴곡 등에 맞춤식으로 대응할 수 있는 새로운 구조의 척 플레이트를 제공하고자 하는 것이다. 본 발명은 척 플레이트를 경량화하기 위해, 척 플레이트에 오목부 형태의 포켓 구조를 다수 형성하였다. 또한, 상기 포켓 구조의 내부를 빈 공간으로 두거나 필요에 따라 웨이트 블록을 채워넣고 볼트 등의 고정부재로 고정하여 상기 웨이트 블록을 탈부착식으로 적용하였고, 이러한 구성은 기판 처짐 정도와 처짐 형태에 맞게 대응할 수 있다.