MEMS MEMS MICROPHONE

A MEMS microphone comprises: a sound detection unit having a first membrane, a second membrane arranged to be separated from the first membrane, a low-pressure region arranged between the first membrane and the second membrane, wherein a gas pressure smaller than a normal pressure is present in the low-pressure region, a counter electrode at least partially arranged in the low-pressure region, and a sound through-hole extended through the sound detection unit in a thickness direction of the sound detection unit; and a valve provided in the sound through-hole and adopting a plurality of valve states, wherein a predetermined sound transmission degree of the sound through-hole is assigned to each of the valve states. MEMS 마이크로폰은 사운드 검출 유닛과 밸브를 포함하되, 사운드 검출 유닛은 제1 멤브레인과, 제1 멤브레인으로부터 이격되어 배치된 제2 멤브레인과, 제1 멤브레인과 제2 멤브레인 사이에 배치된 저압 영역 - 저압 영역에는 정상 압력에 비해 감소한 가스 압력이 존재함 - 과, 저압 영역에 적어도 부분적으로 배치된 카운터 전극과, 사운드 검출 유닛의 두께 방향으로 사운드 검출 유닛을 통해 연장되는 사운드 쓰루 홀을 포함하고, 밸브는 사운드 쓰루 홀에 제공되고 복수의 밸브 상태를 채택하도록 구성되며, 사운드 쓰루 홀의 사전결정된 사운드 전달 정도가 각각의 밸브 상태에 할당된다.