PID Surface inspection device of multilayer panel having transparent PID as an insulator between layers

The present invention relates to a surface inspection device of a multilayer panel having a transparent photo imageable dielectric (PID) as an interlayer insulator and manufactured through a fan out panel level package (FoPLP) process. The inspection device includes a vision image processing system inspecting the surface (upper surface) of the multilayer panel, a lighting unit lighting the upper surface of the multilayer panel, and a table loading the multilayer panel. The vision image processing system includes a camera acquiring an image of the upper surface of the multilayer panel; an image processing unit processing the image obtained by the camera; and a plurality of lenses for acquiring the image with a camera. The lighting unit includes a coaxial lighting causing light to be incident upon the upper surface of the multilayer panel and causing the light to be incident in a direction coaxial with the central axis connecting the camera and the center of the lens; and a ring light incident at an angle to the central axis. FoPLP(Fan Out Panel Level Package) 공정을 통해 제조되되 층간 절연체로 투명 PID(Photo Imageable Dielectric)를 갖는 다층레이어 패널의 표면검사장치에 있어서, 상기 검사장치는 상기 다층레이어 패널의 표면(상면)을 검사하는 비전영상처리시스템과 상기 다층레이어 패널의 상면을 조명하는 조명부와 상기 다층레이어 패널을 로딩하는 테이블로 이루어지며 상기 비전영상처리 시스템은 상기 다층레이어 패널의 상면의 이미지를 획득하는 카메라;와 상기 카메라에서 획득한 영상을 처리하는 영상처리부와 상기 이미지를 카메라로 획득하기 위한 복수개의 렌즈;를 포함하며, 상기 조명부는 조명을 상기 다층레이어 패널의 상면으로 입사시키되 상기 카메라와 상기 렌즈의 중심부를 연결하는 중심축과 동축방향으로 조명을 입사키는 동축조명;과 상기 중심축과 경사지도록 입사시키는 링조명으로 이루어지는, 층간 절연체로 투명 PID를 갖는 다층레이어 패널의 표면검사장치에 관한 것이다..