Wick structure AND heat PIPE including the same and manufacturing method thereof

The present invention provides a wick structure which includes a plurality of micro posts arranged in one direction, wherein the diameter of the first side of the micro-post is reduced from the top of the micro-posts to the bottom of the micro-posts and then increases again, and a heat pipe including the same. In addition, the present invention provides a method for manufacturing a wick structure, which comprises the steps of: preparing a metal substrate; forming a first photoresist pattern; performing a first etching process; forming a second photoresist pattern having the same pattern as the first photoresist pattern on one surface of the first etched metal substrate; and performing a second etching process. Therefore, the heat pipe improves heat transfer performance even in a high heat flux region and reduces the difficulty of a manufacturing process of a highly reactive metal-based heat pipe, thereby achieving high process efficiency and reducing production costs. 본 발명은 일 방향으로 배열된 다수의 마이크로 포스트(micro post)를 포함하며, 마이크로 포스트의 제1 측면의 직경은 마이크로 포스트의 상부에서 하부 방향으로 갈수록 감소하다 다시 증가하는 윅 구조물 및 이를 포함하는 히트 파이프를 제공한다. 아울러 본 발명은 금속 기판을 준비하는 단계, 1차 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계, 1차 에칭하는 단계, 1차 에칭된 금속 기판의 일면에 1차 포토레지스트 패턴과 동일한 패턴의 2차 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계 및 2차 에칭하는 단계를 포함하는 윅 구조물의 제조 방법을 제공한다. 이를 통한 히트 파이프는 높은 열 유속 구간 내에서도 열 전달 성능이 향상되고, 반응성이 높은 금속 기반의 히트 파이프의 제작 공정 난이도를 낮추어 높은 공정 효율을 얻고 제작비용도 절감할 수 있다.