초크 유동에 기반한 질량 유량 검증을 위한 방법들, 시스템들 및 장치

질량 유량 검증 시스템들 및 장치는 초크 유동 원리들에 기반하여 질량 유량 제어기(MFC)들의 질량 유동률들을 검증할 수 있다. 이러한 시스템들 및 장치는 병렬로 결합된 복수의 서로 다른 크기의 유량 제한기들을 포함할 수 있다. MFC의 설정점을 기초로 유량 제한기들 중 하나를 통하는 유동 경로의 선택을 통해 광범위한 유동률들이 검증될 수 있다. 초크 유동 상태들 하에서 유량 제한기들의 상류에서 압력 및 온도 측정들을 통해 질량 유동률들이 결정될 수 있다. 초크 유동 원리들을 기반으로 질량 유동률을 검증하는 방법들이 또한, 다른 양상들과 같이 제공된다. Mass flow verification systems and apparatus may verify mass flow rates of mass flow controllers (MFCs) based on choked flow principles. These systems and apparatus may include a plurality of differently-sized flow restrictors coupled in parallel. A wide range of flow rates may be verified via selection of a flow path through one of the flow restrictors based on an MFC's set point. Mass flow rates may be determined via pressure and temperature measurements upstream of the flow restrictors under choked flow conditions. Methods of verifying a mass flow rate based on choked flow principles are also provided, as are other aspects.