전자 현미경 장치 및 그것을 이용한 경사 홀의 측정 방법

반도체 패턴의 홀의 보텀의 윤곽이 시료 표면에서 차폐되었을 경우에도 정확한 경사 상태를 전자 현미경 장치로 측정할 수 있도록 한다. 전자 현미경 장치를, 상대적으로 낮은 에너지의 전자를 검출하는 고앙각으로 배치한 제1 검출 수단, 및 상대적으로 높은 에너지의 전자를 검출하는 저앙각으로 배치한 제2 검출 수단과, 제1 검출기로부터 얻은 제1 화상으로부터, 미리 설정된 영역 내에서 반도체 패턴의 홀 영역을 특정하는 수단과, 제2 검출기로부터 얻은 제2 화상에서, 홀 영역의 외주(外周)와, 외주로부터 홀 중심 방향으로 검출한 구멍 바닥까...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GOTO YASUNORI, FUKUNAGA FUMIHIKO, TAKAGI YUJI
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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