반송 장치 및 반송 방법, 그리고 검사 시스템

로더(31)와, 로더(31)를 X 방향을 따라서 이동시켜, 웨이퍼(W)의 전달을 행하는 복수의 전달 위치를 갖는 반송로(50)와, X 방향으로 배치된 타이밍 벨트(51)에 의해 로더(31)를 반송로(50)를 따라 이동시키는 벨트 구동 방식의 구동 기구(32)와, 로더(31)가 전달 위치에 대응하는 소정의 위치에 달했을 때 신호를 발하는 위치 센서(71a, 71b)와, 로더(31)를 제어하는 반송 제어부(81)를 갖고, 반송 제어부(81)는 로더(31)의 위치에 관한 좌표를 갖고, 위치 센서(71a, 71b)로부터의 신호를 수취했을 때, 그 때마다 그 신호에 기초하여, 반송 제어부(81)에서의 좌표 상의 로더(31)의 위치 데이터를 보정한다. There is provided a transfer device, comprising: a transfer part configured to transfer a target object; a transfer path having a plurality of transfer positions at which the transfer part transfers the target object while moving along one direction; a driving mechanism of a belt driving type configured to move the transfer part along the transfer path by a timing belt arranged in the one direction; a position sensor configured to generate a signal when the transfer part reaches a predetermined position corresponding to each of the transfer positions; and a controller configured to control the transfer part. The controller has coordinates of a position of the transfer part, and is configured to correct position data of the transfer part in the coordinate system of the controller based on the signal each time the controller receives the signal from the position sensor.