Silicon wafer storage Case

The present invention relates to a silicon wafer storage case comprising: a storage member having a planar storage space formed therein to store a silicon wafer and having a hinge coupling hole formed on the left and right surfaces of a rear side; a cover member having a space for storing the storag...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: HEO, YUN SEOK, YANG, SO HAE, KIM, MIN YOUNG, JEONG, SOON WOO, LEE, SEOK JAE, LEE, TAE JAE, BAE, NAM HO, KIM, MIN SU
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention relates to a silicon wafer storage case comprising: a storage member having a planar storage space formed therein to store a silicon wafer and having a hinge coupling hole formed on the left and right surfaces of a rear side; a cover member having a space for storing the storage member formed on a bottom surface in the same shape as that of the storage member ad coupling a rear side to the hinge coupling hole of the storage member by a hinge to be rotated on the hinge so as to close the storage space while being folded to the storage member; a plurality of restriction means disposed on the bottom surface of the storage space and the lower surface of the cover member to be close to the surface of the silicon wafer received in the storage space so as to prevent the silicon wafer from being moved when the cover member is rotated on the hinge and is folded to the storage member; and a lifting means disposed on the center of the rear side of the storage member to be selectively moved to the storage space of the storage member by user′s operation so as to lift a part of the silicon wafer stored in the storage space. Accordingly, the planar silicon wafer is conveniently handled, and is selectively connected by or separated from multiple stages as necessary. Moreover, in movement of a sample wafer completing a photographing process, one or selectively several samples are able to be moved while being safely protected from pollution or damage. 본 발명은 판 상으로 내부에는 실리콘 웨이퍼가 수용되는 수용공간을 형성하고, 후방 좌, 우측면에는 힌지 결합공을 각각 형성한 수용부재와, 상기 수용부재와 같은 형상으로 저면에는 상기 수용부재가 수용되는 공간을 형성하며, 후방이 상기 수용부재의 힌지 결합공과 힌지로 결합되어, 상기 힌지를 축으로 회전하여 상기 수용부재와 접철되면서 수용공간을 밀폐하는 덮개부재와, 상기 수용공간의 바닥면 및 상기 덮개부재 저면에 구비되어, 상기 덮개부재가 힌지를 축으로 회전하여 수용부재와 접철될 시, 상기 수용공간에 수용된 실리콘 웨이퍼의 표면과 밀접하여, 상기 실리콘 웨이퍼가 유동하지 않게 구속하는 복수 개의 구속수단, 및 상기 수용부재의 후방에 중앙에 구비되어, 사용자 조작에 의해 선택적으로 상기 수용부재의 수용공간으로 이동하여 수용공간에 수용된 실리콘 웨이프의 일부분을 들어오리는 올림수단을 포함하여, 판 상의 실리콘 웨이퍼의 취급이 간편하고, 필요에 따라 선택적으로 다단으로 연결 또는 분리가 가능하며, 또한 사진공정을 마친 샘플 웨이퍼의 이동 시 하나 또는 선택적 여러 개의 샘플이 오염되거나, 파손에서부터 안전하게 보호되어 이동할 수 있는 실리콘 웨이퍼 보관케이스를 제공한다.