압전-유압 액추에이터

본 발명은 4개의 챔버(chamber)들을 갖는 시스템으로서 형성된 압전-유압 액추에이터(piezohydraulic actuator)(1)에 관한 것으로, 제1 챔버는 드라이브 벨로우즈(3)이고, 드라이브 벨로우즈(3)는 압전 액추에이터(5)에 의해 이동가능하고 그리고 드라이브 벨로우즈(3)는 유압 유체(7)로 채워지고 그리고 드라이브 벨로우즈(3)는 제1 체크 밸브(RV1)에 의해 제2 챔버에 유압식으로 연결되고, 제1 출력부(A1)로서 제2 챔버는, 유압 유체(7)로 채워진 유압 실린더(9)로서 형성되고, 유압 실린더(9)의 하우징 및 유압 피스톤(11)은 출력 벨로우즈(13)에 대해 기계적으로 병렬로 커플링되고, 출력 벨로우즈(13)는 유압 유체(7)로 채워지고 그리고 제2 출력부(A2)로서 제3 챔버를 형성하고, 드라이브 벨로우즈는 제2 체크 밸브(RV2)에 의해 제4 챔버에 유압식으로 연결되고, 제4 챔버는 저장소(15)로서 유압 유체(7)로 채워지고, 상기 제4 챔버는 제3 체크 밸브(RV3)에 의해 드라이브 벨로우즈(13)에 연결되고, 유압 실린더(9)는 제4 체크 밸브(RV4)에 의해 출력 벨로우즈(13)에 유압식으로 연결된다. A piezohydraulic actuator system includes four chambers: a first chamber defined by a drive bellows filled with a hydraulic fluid and movable by a piezo actuator, a second chamber defined by a hydraulic cylinder filled with the hydraulic fluid, which defines a first output; a third chamber defined by an output bellows filled with the hydraulic fluid, which defines a second output; and a fourth chamber defining a reservoir of the hydraulic fluid. The drive bellows is hydraulically connected via a first check valve to the second chamber. A hydraulic piston in the hydraulic cylinder is coupled mechanically to the output bellows. The drive bellows is hydraulically connected via a second check valve to the fourth chamber. The hydraulic fluid reservoir is hydraulically connected via a third check valve to the output bellows, and the hydraulic cylinder is hydraulically connected via a fourth check valve to the output bellows.