유체 액추에이터를 제어하기 위한 제어 시스템

워크피스 (22) 를 포지셔닝시키기 위한 스테이지 어셈블리 (10) 는 스테이지 (14), 베이스 (12), 유체 액추에이터 어셈블리 (24), 및 제어 시스템 (20) 을 포함한다. 유체 액추에이터 어셈블리 (24) 는 베이스 (12) 에 대하여 이동 축 (30) 을 따라서 스테이지 (14) 를 이동시킨다. 유체 액추에이터 어셈블리 (24) 는, 피스톤 챔버 (34) 를 정의하는 피스톤 하우징 (32), 피스톤 챔버 (34) 내에 포지셔닝되고 피스톤 축 (36A) 을 따라서 피스톤 챔버 (34) 에 대하여 이동하는 피스톤 (36)...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	YANG PAI HSUEH, LEE SANDY, CHANG PING WEI, CHOI YEONG JUN, SAKATA KOICHI
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BLASTING DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR FLUID-PRESSURE ACTUATORS FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVO-MOTORS HEATING HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL WEAPONS
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