유체 액추에이터를 제어하기 위한 제어 시스템

워크피스 (22) 를 포지셔닝시키기 위한 스테이지 어셈블리 (10) 는 스테이지 (14), 베이스 (12), 유체 액추에이터 어셈블리 (24), 및 제어 시스템 (20) 을 포함한다. 유체 액추에이터 어셈블리 (24) 는 베이스 (12) 에 대하여 이동 축 (30) 을 따라서 스테이지 (14) 를 이동시킨다. 유체 액추에이터 어셈블리 (24) 는, 피스톤 챔버 (34) 를 정의하는 피스톤 하우징 (32), 피스톤 챔버 (34) 내에 포지셔닝되고 피스톤 축 (36A) 을 따라서 피스톤 챔버 (34) 에 대하여 이동하는 피스톤 (36), 및 피스톤 챔버 (34) 내로의 피스톤 유체의 유동을 제어하는 밸브 어셈블리 (38) 를 포함한다. 밸브 어셈블리 (38) 는 유입 밸브 특성을 갖는 유입 밸브 (38C) 를 포함한다. 제어 시스템 (20) 은 피스톤 챔버 (34) 내로의 피스톤 유체의 유동을 제어하기 위해 밸브 어셈블리 (38) 를 제어한다. 제어 시스템 (20) 은 밸브 어셈블리 (38) 를 제어하기 위해 유입 밸브 특성의 역을 이용할 수 있다. A stage assembly (10) for positioning a workpiece (22) includes a stage (14), a base (12), a fluid actuator assembly (24), and a control system (20). The fluid actuator assembly (24) moves the stage (14) along the movement axis (30) relative to the base (12). The fluid actuator assembly (24) includes a piston housing (32) that defines a piston chamber (34), a piston (36) that is positioned within and moves relative to the piston chamber (34) along a piston axis (36A), and a valve assembly (38) that controls the flow of a piston fluid into the piston chamber (34). The valve assembly (38) includes an inlet valve (38C) having an inlet valve characteristic. The control system (20) controls the valve assembly (38) to control the flow of the piston fluid into the piston chamber (34). The control system (20) can utilize an inverse of the inlet valve characteristic to control the valve assembly (38).