CRYOPUMP

극저온 펌프는 개선된 가스 분포를 갖는 제작이 간단한 전방 배플 플레이트를 갖고 타입 Ⅱ 가스들을 포획하기 위해 큰 면적의 제 2 스테이지 어레이 플레이트를 갖는다. 극저온 펌프는 오리피스들 및 이 오리피스들로부터 구부러지고 이에 부착되는 플랩들을 갖는 제 1 스테이지 전방 배플 플레이트를 갖는다. 극저온 펌프는 제 2 스테이지 어레이의 냉각 배플들보다 면적이 더 큰 제 2 스테이지 상부 플레이트를 갖는다. A cryopump has a simple-to-manufacture frontal baffle plate with impro...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	EACOBACCI MICAHEL J, CASELLO JOHN J, WELLS JEFFREY A, SYSSOEV SERGEI, BARTLETT ALLEN J
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BLASTING HEATING LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS PUMPS PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS SEPARATION TRANSPORTING WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	극저온 펌프는 개선된 가스 분포를 갖는 제작이 간단한 전방 배플 플레이트를 갖고 타입 Ⅱ 가스들을 포획하기 위해 큰 면적의 제 2 스테이지 어레이 플레이트를 갖는다. 극저온 펌프는 오리피스들 및 이 오리피스들로부터 구부러지고 이에 부착되는 플랩들을 갖는 제 1 스테이지 전방 배플 플레이트를 갖는다. 극저온 펌프는 제 2 스테이지 어레이의 냉각 배플들보다 면적이 더 큰 제 2 스테이지 상부 플레이트를 갖는다. A cryopump has a simple-to-manufacture frontal baffle plate with improved gas distribution and has a large-area second-stage array plate to capture Type II gases. The cryopump has a first-stage frontal baffle plate having orifices and flaps bent from and attached to the orifices. The cryopump has a second-stage top plate that is larger in area than cooling baffles of the second stage array.