SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND SUBSTRATE PROCESSING CHARGE CALCULATION SYSTEM

The present invention relates to a substrate processing system and a substrate processing charge calculation system, capable of being optimal for managing chemicals, which are used for manufacturing a substrate, in an optimal condition. To achieve the purpose, the substrate processing system comprises: a substrate processing unit (1); a chemical compounding unit (3) compounding a new chemical solvent; and a chemical reproducing unit (4) reproducing used chemicals. A chemical management unit (2) measures the concentration of the chemicals of the substrate processing unit (1), supplements an undiluted solution, the new solvent, or the reproduced solution of the chemicals, and manages the chemicals at an optimal concentration. The supplemented solution is measured by integrating flowmeters (51-55) installed in a pipe. The substrate processing charge calculation system is connected with a server system (502) and an integrating flowmeter including a communication function to a network (510). An integrating flowrate is received and memorized by the server system (502) through the network (501). The server system (502) includes a calculating part (505) in each of the integrating flowmeters to calculate charges based on a flowrate for a predetermined period. 본 발명은 기판의 제조에 사용되는 약액을 최적의 상태로 관리하는 역무에 최적한 기판 처리 시스템 및 그 요금 산출 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다. 이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 기판 처리 시스템은, 기판 처리 수단(1)과, 약액의 신액을 조제하는 약액 조제 수단(3), 사용후의 약액을 재생하는 약액 재생 수단(4) 등이, 배관에서 접속되어 있다. 약액 관리 수단(2)은 기판 처리 수단(1)의 약액의 농도를 측정하고, 약액의 원액이나 신액, 재생액을 보충하고, 약액을 최적의 농도로 관리한다. 공급된 보충액은 배관에 구비된 적산 유량계(51∼55)에 의해 계측된다. 기판 처리 요금 산출 시스템(5)은, 네트워크(510)에 통신 기능을 갖는 적산 유량계와 서버 시스템(502)이 접속되어 있다. 적산 유량은 네트워크(501)를 통해 서버 시스템(502)에 수신되어 기억된다. 서버 시스템(502)은, 적산 유량계마다 소정 기간의 적산 유량에 의거하여 요금을 산출하는 연산부(505)를 구비한다.