기판 부상 반송 장치

장치 구성의 복잡화를 피하고, 코스트 업 하는 일 없이, 부상한 기판을 용이하게 일정 높이로 보지(保持)할 수 있는 기판 부상 반송 장치를 제공한다. 구체적으로는, 기판을 부상시키는 부상 스테이지와, 부상 스테이지로 부상된 기판을 보지하는 기판 보지 유닛과, 기판 보지 유닛으로 기판이 보지된 상태로 기판 보지 유닛을 이동시키는 것에 의하여 기판을 반송 방향으로 이동시키는 반송 구동부를 구비하고, 기판 보지 유닛은, 기판을 흡착하는 복수의 흡착부와, 이들 모든 흡착부를 반송 방향으로 늘어선 상태로 취부하는 보지 프레임부를 가지고 있고, 보지 프레임부는, 반송 구동부에 승강부를 통하여 설치되어 있고, 승강부를 동작시키는 것에 의하여, 보지 프레임부가 승강 동작을 행하여, 모든 흡착부가 기판에 대하여 접리(接離) 동작하도록 형성한다. Provided is a substrate floating transport device which makes it possible to easily hold a floating substrate at a certain height without complicating the device configuration or increasing the cost thereof. Specifically, the substrate floating transport device is provided with: a floating stage which causes a substrate to float; a substrate holding unit which holds the substrate being caused to float by the floating stage; and a transport drive unit which causes the substrate to be moved in a transport direction by moving the substrate holding unit with the substrate being held by the substrate holding unit. The substrate holding unit includes a plurality of suction attachment units which suction-attach the substrate, and a holding frame unit on which all of the suction attachment units are mounted in a state of being arranged in the transport direction. The holding frame unit is attached to the transport drive unit via a lifting/lowering unit, and is formed such that, as the lifting/lowering unit is operated, the holding frame unit performs a lifting/lowering operation to move all of the suction attachment units toward or away from the substrate.