대기압에서 용매 분압들의 시퀀스의 함수로서 다공성 유효 기판 표면의 광학적 특성들의 변화를 검사하는 시스템 및 방법
본 발명은, 예컨대 대기압에서 유효 표면 깊이 및 굴절률, 기공 크기, 기공 부피, 및 기공 크기 분포와 관련된 다공성 유효 기판 표면의 광학적 특성들의 변화를 검사하는 시스템 및 방법에 관한 것이다. A system for and method of investigating changes in optical properties of a porous effective substrate surface related to, for instance, effective surface depth and refractive index, pore...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Zusammenfassung: | 본 발명은, 예컨대 대기압에서 유효 표면 깊이 및 굴절률, 기공 크기, 기공 부피, 및 기공 크기 분포와 관련된 다공성 유효 기판 표면의 광학적 특성들의 변화를 검사하는 시스템 및 방법에 관한 것이다.
A system for and method of investigating changes in optical properties of a porous effective substrate surface related to, for instance, effective surface depth and refractive index, pore size, pore volume and pore size distribution at atmospheric pressure. |
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