기판 상에 ＣｄＴｅ 층을 증착하기 위한 방법

본 발명은 물리적 기상 증착(physical gas phase deposition)에 의해 진공 챔버(1) 내의 기판(2) 상에 CdTe 층을 증착하기 위한 방법에 관한 것으로, 기판(2)은, 증착 공정 이전에 코팅 온도로 가열되고 그 다음에, CdTe(4)가 증기 상태로 전환되는 용기(3)를 지나서 안내되고, (진공 챔버 내의 진공에 비해서) 증가된 압력을 갖는 가스 성분이 코팅될 기판(2)의 표면에 대해 적어도 하나의 입구(5)를 통해 유동하여, 기판(2)이 적어도 하나의 용기(3)를 지나서 안내되기 이전에, 코팅될 기판(2)의...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	METZNER CHRISTOPH, VELAPPAN KRISHNAKUMAR, ZYWITZKI OLAF, SIEPCHEN BASTIAN, DROST CHRISTIAN, MORGNER HENRY, HIRSCH DANIEL, SPAETH BETTINA, DECKER LUDWIG, KRAFT CHRISTIAN, WERNER TORSTEN
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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