접촉 역학을 통한 국부 인장 스트레스 하에서의 재료 특성 측정

기판에서 접촉 역학 테스트를 수행하는 장치는 적어도 2개의 접촉 요소를 갖는 스타일러스를 포함한다. 각각의 접촉 요소는 접촉 프로파일을 가지며, 접촉 요소들은 스타일러스 내에 배치되어 그들 사이에 신장 통로를 규정한다. 스타일러스는 기판을 변형시켜 기판이 접촉 요소들 사이에서 유동하게 하고 기판에 장력을 유도하여 기판에 미세변형들을 생성 및 유지하도록 구성된다. 장치를 사용하여 접촉 역학 테스트를 수행하는 방법들도 제공된다. An apparatus for performing a contact mechanics test in a substrate includes a stylus having at least two contact elements. Each contact element has a contact profile, and the contact elements are disposed in the stylus to define a stretch passage therebetween. The stylus is configured to deform the substrate so as to cause the substrate to flow between the contact elements and induce tension in the substrate in order to generate and preserve micromodifications in the substrate. Methods of performing a contact mechanics test using the apparatus are also provided.