오버레이 오차 계측 장치, 및 컴퓨터 프로그램

본 발명은, 하나의 패턴에 다른 패턴과 겹치는 부분과 그렇지 않은 부분이 혼재해 있다고 해도, 정확히 패턴의 식별을 행하고, 오버레이 오차 계측을 실행하는 오버레이 오차 계측 장치의 제공을 목적으로 한다. 그를 위해 본 발명에서는 오버레이 오차를 연산하는 연산 장치를 구비한 오버레이 오차 계측 장치로서, 화상 상의 휘도 경계에 의해 나뉜 복수의 영역을 지정하는 화상 지정 장치를 구비하고, 상기 연산 장치는, 상기 휘도 경계에 의해 나뉜 복수의 영역에 대응하는 피계측 화상의 영역을, 제1 패턴으로서 식별하고, 당해 식별된 제1 패턴을 사용해서 오버레이 오차 측정을 행하는 오버레이 오차 계측 장치를 제안한다. The purpose of the present invention is to provide an overlay error measurement device that is capable of accurately recognizing patterns and executing overlay error measurement, even when one pattern overlaps with another pattern in some areas but not in others. In order to do so, the present invention provides an overlay error measurement device provided with a calculating device for calculating overlay error. The overlay error measurement device is provided with an image designation device for designating a plurality of regions demarcated by luminance borders on an image. The calculating device recognizes, as a first pattern, a region in an image to be measured, corresponding to the plurality of regions demarcated by luminance borders, and uses the recognized first pattern to measure overlay error.