SURFACE TREATMENT LIQUID SURFACE TREATMENT METHOD HYDROPHOBILIZATION METHOD AND HYDROPHOBILIZED SUBSTRATE

기판의 소수화 처리를 간편하고 효율적으로 실현할 수 있고, 또는 수지 패턴이나 피에칭 패턴의 패턴 붕괴를 효과적으로 방지할 수 있는 표면 처리액 및 그 표면 처리액을 사용한 표면 처리 방법, 그리고 그 표면 처리액을 사용한 소수화 처리 방법 및 소수화된 기판을 제공한다. 기판의 소수화 처리시에는, 실릴화제와, 탄화수소계 비극성 용제를 함유하는 표면 처리액을 기판에 도포한다. 또, 패턴 붕괴의 방지시에는, 실릴화제 및 용제를 함유하는 표면 처리액을 사용하여, 기판 상에 형성된 수지 패턴, 또는 에칭에 의해 기판에 형성된 피에칭 패턴의 표면을 처리한다. Disclosed is a surface treatment liquid which enables simple and efficient hydrophobilization of a substrate and prevention of collapse of a resin pattern or etched pattern. Also disclosed are a surface treatment method using the surface treatment liquid, a hydrophobilization method using the surface treatment liquid, and a hydrophobilized substrate. When a substrate is hydrophobilized, the substrate is coated with a surface treatment liquid containing a silylating agent and a hydrocarbon non-polar solvent. When a pattern is prevented from collapse, the surface of a resin pattern formed on a substrate or etched pattern formed on a substrate by etching is treated using a surface treatment liquid containing a silylating agent and a solvent.