레이저 활성화 게터 물질을 포함하는 센서 요소

본 발명은, 기판과; 상기 기판에 연결되어 상기 기판과 함께 제1 공동부를 둘러싸는 캡;을 포함하는 마이크로기계 부품을 제조하기 위한 방법에 관한 것이며, 상기 제1 공동부 내에는 제1 압력이 우세하고, 제1 화학 조성을 갖는 제1 가스 혼합물이 내포되며, 제1 방법 단계에서 마이크로기계 부품의 주변 환경과 제1 공동부를 연결하는 접근 개구부가 기판 내에 또는 캡 내에 형성되고, 제2 방법 단계에서 제1 공동부 내의 제1 압력 및/또는 제1 화학 조성이 조정되고, 제3 방법 단계에서는 레이저를 이용하여 기판 또는 캡의 흡수부 내로 에너지 또는 열을 유입시키는 것을 통해 접근 개구부가 밀폐되며, 제3 방법 단계 전에 제1 공동부 내로 유입된 게터는 레이저에 의해 생성된 레이저 빔에 의해 제3 방법 단계 동안 적어도 부분적으로 활성화된다. A method for producing a micromechanical component having a substrate and cap, which is connected to the substrate and encloses a first cavity therewith. A first pressure prevails in the first cavity, and a first gas mixture having a first chemical composition is enclosed, and an access opening is provided in the substrate or cap, which connects the first cavity to an environment of the micromechanical component, and then the first pressure and/or the first chemical composition is adjusted in the first cavity, and finally, the access opening is sealed with a laser by introducing energy/heat into an absorbing part of the substrate or cap, and a getter, introduced into the first cavity prior to the third task, is sealed with the laser radiation, and a getter, introduced into the first cavity prior to the third task, is activated at least partially with the laser radiation, during the third task.