METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING EXCHANGE STIFFNESS AT A PATTERNED DEVICE LEVEL

The purpose of the present invention is to provide a method for determining an exchange stiffness of a free layer existing in a magnetic junction which improves performances of a magnetic memory by using a spin torque ferromagnetic resonance to determine an exchange stiffness of a free layer. Provided are a method and a device for determining an exchange stiffness of a free layer existing in a magnetic junction. The method comprises the performing of a spin torque ferromagnetic resonance measurement for the magnetic junction. The spin torque ferromagnetic resonance measurement represents a plurality of characteristic frequencies corresponding to a spin wave mode in the free layer. In addition, the method comprises the calculating of the exchange stiffness of the free layer based on a plurality of characteristic frequencies. In embodiments, the magnetic junction may exist on a wafer comprising other magnetic junction for a device. The magnetic junction is arranged as a magnetic memory. The magnetic junction receiving a spin torque ferromagnetic resonance has an aspect ratio different from the magnetic junction. 자기 접합부에 존재하는 자유층의 교환 강성을 결정하는 방법 및 장치가 제공된다. 상기 방법은 자기 접합부에 대하여 스핀 토크 강자성 공명 측정을 수행하는 것을 포함한다. 스핀 토크 강자성 공명 측정은 자유층 내의 스핀 파 모드에 대응하는 복수의 특성 주파수를 나타낸다. 상기 방법은 또한 복수의 특성 주파수에 기초하여 자유층의 교환 강성을 계산하는 것을 포함한다. 몇몇 실시예에서, 자기 접합부는 장치를 위한 다른 자기 접합부를 포함하는 웨이퍼 상에 존재한다. 자기 접합부는 자기 메모리로서 배열될 수 있다. 스핀 토크 강자성 공명을 받는 자기 접합부는 자기 접합부와 다른 종횡비를 갖는다.