적응적 정렬 방법 및 시스템

적응적 정렬 방법 및 시스템이 개시된다. 적응적 정렬 시스템은 웨이퍼와 정렬하도록 구성된 스캐너 및 이 스캐너와 통신하는 분석기를 포함할 수 있다. 분석기는 적어도 하나의 규정된 분석 영역을 인식하고; 임의의 섭동이 상기 분석 영역 내에 존재하는지 결정하고; 적어도 하나의 섭동이 상기 분석 영역 내에 존재한 것으로 결정된 것에 응답하여 폴백 정렬 전략을 호출하거나 적어도 하나의 섭동을 스캐너에 보고하도록 구성될 수 있다. Adaptive alignment methods and systems are disclosed. An adaptive alignment system may include a scanner configured to align a wafer and an analyzer in communication with the scanner. The analyzer may be configured to: recognize at least one defined analysis area; determine whether any perturbations exist within the analysis area; and in response to at least one perturbation determined to be within the analysis area, invoke a fall back alignment strategy or report the at least one perturbation to the scanner.