진공 챔버를 위한 폐쇄 또는 잠금 디바이스

본 발명은 진공 챔버(12)를 위한 폐쇄 디바이스 또는 잠금 디바이스에 관한 것으로, 그 폐쇄 디바이스 또는 잠금 디바이스는, 진공 챔버(12) 상에 배열될 수 있고, 진공 챔버(12)의 개구(14)를 둘러싸는 카운터 플레이트(16); 프레임(15) - 프레임(15)은 프레임이 카운터 플레이트(16)에 대하여 이동될 수 있는 방식으로 지지되고, 프레임(15) 상에 폐쇄 커버(18)가 이동가능하게 배열되고, 폐쇄 커버(18)는 카운터 플레이트(16)에 대한 폐쇄 포지션(28)에서 밀봉 방식으로 개구(14)를 폐쇄함 -; 카운터 플레이트(16)와 폐쇄 커버(18) 사이에 작용하는 폐쇄력(C)을 생성하기 위한 적어도 하나의 자석 디바이스(30)를 포함하며, 그 자석 디바이스는 카운터 플레이트(16) 및 폐쇄 커버(18)와 결합(engagement)한다. The invention relates to a closure device or lock device for a vacuum chamber (12), comprising: a counter plate (16), which can be arranged on a vacuum chamber (12) and which surrounds an opening (14) of the vacuum chamber (12); a frame (15), which is supported in such a way that the frame can be moved in relation to the counter plate (16) and on which a closure cover (18) is movably arranged, wherein the closure cover (18) closes the opening (14) in sealing manner in a closed position (28) against the counter plate (16); at least one magnet device (30) for producing a closing force (C) acting between the counter plate (16) and the closure cover (18), which magnet device is in engagement with the counter plate (16) and with the closure cover (18).