디스펜스 모니터링 및 제어

기판상에 점성 유체를 정확하게 디스펜싱하는 방법들 및 시스템들(10). 일 실시예에서, 방법은 전기적 유량계 출력 신호들을 생성하기 위해 전자 유량계 장치(32a, 32b)를 사용하는 단계, 및 출력 데이터 세트와 기준 데이터 세트 사이의 차이를 보정하기 위해 적어도 하나의 디스펜싱 파라미터를 조정함으로써 폐루프 방식으로 응답식 제어 기능을 수행하는 단계를 포함한다. 다른 실시예에서, 시스템(10)은 중량계(72) 및 가스 유량계 장치(32a, 32b)에 동작 가능하게 결합되는 제어 장치를 포함하여 점성 재료의 양의 밀도가 결정되게...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GORMAN MICHAEL, GIUSTI CHRISTOPHER L, LEWIS ALAN R, RATLEDGE THOMAS, QUINONES HORATIO, DONNER JOSEPH E, SUHININ YURIY
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL PERFORMING OPERATIONS SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL TRANSPORTING
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