디스펜스 모니터링 및 제어

기판상에 점성 유체를 정확하게 디스펜싱하는 방법들 및 시스템들(10). 일 실시예에서, 방법은 전기적 유량계 출력 신호들을 생성하기 위해 전자 유량계 장치(32a, 32b)를 사용하는 단계, 및 출력 데이터 세트와 기준 데이터 세트 사이의 차이를 보정하기 위해 적어도 하나의 디스펜싱 파라미터를 조정함으로써 폐루프 방식으로 응답식 제어 기능을 수행하는 단계를 포함한다. 다른 실시예에서, 시스템(10)은 중량계(72) 및 가스 유량계 장치(32a, 32b)에 동작 가능하게 결합되는 제어 장치를 포함하여 점성 재료의 양의 밀도가 결정되게 한다. Methods and systems (10) of accurately dispensing a viscous fluid onto a substrate. In an embodiment, a method includes using an electronic flow meter device (32a, 32b) to produce electrical flow meter output signals and performing a responsive control function in a closed loop manner by adjusting at least one dispensing parameter to correct for a difference between an output data set and a reference data set. In another embodiment, a system (10) includes a control operatively coupled to a gas flow meter device (32a, 32b) and to a weigh scale (72) allowing for a density of an amount of viscous material to be determined.