Combined Surface Inspection Using Multiple Scanners

Provided are a method and a system for inspecting surfaces of various components, such as evaluating height deviations on these surfaces. The method includes aggregating inspection data from multiple line scanners into a combined data set. The combined data set represents a portion of the surface that is larger than the field of measurement in any one of the scanners. Furthermore, each pair of adjacent scanners operates at different periods of time to avoid interference. Since operating periods are offset, surface portions scanned by the pair of adjacent scanners overlap with each other without interference. The overlap of the scanned portions ensures that the entire surface is analyzed. The position of scanners relative to the inspection surface may be changed in between the scans and, in some embodiments, even during the scan. The method allows precise scanning of large surfaces. 다양한 컴포넌트의 표면을 검사하기 위한 방법 및 시스템으로서, 이들 표면상의 높이 편차를 평가하는 것과 같은 방법 및 시스템이 제공된다. 이 방법은 다수의 라인 스캐너로부터의 검사 데이터를 결합된 데이터 세트로 취합하는 단계를 포함한다. 이 결합된 데이터 세트는 스캐너 중 어느 하나의 측정 필드보다 큰 표면의 부분을 나타낸다. 더욱이, 인접한 스캐너의 각 쌍은 간섭을 피하기 위해 다른 시간 주기에서 동작한다. 동작 기간이 오프셋(offset)되기 때문에 인접한 스캐너의 쌍에 의해 스캔되는 표면 부분은 간섭없이 중첩될 수 있다. 스캔되는 부분의 이러한 중첩은, 전체 표면이 분석되는 것을 보장한다. 검사 표면에 대한 스캐너의 위치는, 스캔 사이에서, 그리고 일부 실시예에서는 스캔 중에도 변경될 수 있다. 이러한 어프로치는 대형 표면의 정확한 스캐닝을 허용한다.