Apparatus for Supplying Droplet Formation and Apparatus for Droplet Formation having the same

The present invention relates to a chemical liquid supply device. A negative pressure providing part comprises: a negative pressure generation part generating negative pressure applied to a reservoir; a first connection line having a first diameter and connected to the negative pressure generation p...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LEE, BYUNG JOO, CHO, CHEON SU
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention relates to a chemical liquid supply device. A negative pressure providing part comprises: a negative pressure generation part generating negative pressure applied to a reservoir; a first connection line having a first diameter and connected to the negative pressure generation part; a second connection line having a second diameter greater than the first diameter and connecting the first connection line and the reservoir; and a blocking part disposed in the second connection line and having the size larger than the first diameter and smaller than the second diameter so as to block the end of the first connection line connected to the second connection line while moving along the second connection line. 약액 공급 장치에 있어서, 음압 제공부는 상기 레저버로 제공되는 음압을 형성하는 음압 형성부와, 제1 직경을 가지면서 상기 음압 형성부와 연결되는 제1 연결 라인과, 상기 제1 직경보다 큰 제2 직경을 가지면서 상기 제1 연결 라인과 상기 레저버 사이를 연결하는 제2 연결 라인과, 상기 제2 연결 라인 내부를 따라 움직이면서 상기 제2 연결 라인과 연결되는 상기 제1 연결 라인의 단부를 차단할 수 있게 상기 제1 직경보다는 크고 상기 제2 직경보다는 작은 크기를 가지면서 상기 제2 연결 라인 내부에 배치되는 차단부를 포함할 수 있다.