전기기계 작동기를 제조하기 위한 제조 방법 및 전기기계 작동기
본 발명은 전기기계 작동기(10)를 제조하기 위한 제조 방법에 관한 것이며, 여기에서 압전 세라믹층(16) 및 전극층(18)의 스택(14)으로서 형성된 전기적 부품(12)이, 절연층(30)이 도포되는 전기적 부품의 적어도 하나의 측 표면(20)에 제공되며, 전극층(18)은 먼저 제거될 국소적으로 제한된 절연층 영역(34)의 층 두께(D)가 감지되며 그 후 절연층 영역(34)을 제거하기 위한 제거 레이트가 감지된 층 두께(D)에 적응되므로 노출된다. The invention relates to a production method fo...
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Format: | Patent |
Sprache: | kor |
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Zusammenfassung: | 본 발명은 전기기계 작동기(10)를 제조하기 위한 제조 방법에 관한 것이며, 여기에서 압전 세라믹층(16) 및 전극층(18)의 스택(14)으로서 형성된 전기적 부품(12)이, 절연층(30)이 도포되는 전기적 부품의 적어도 하나의 측 표면(20)에 제공되며, 전극층(18)은 먼저 제거될 국소적으로 제한된 절연층 영역(34)의 층 두께(D)가 감지되며 그 후 절연층 영역(34)을 제거하기 위한 제거 레이트가 감지된 층 두께(D)에 적응되므로 노출된다.
The invention relates to a production method for producing an electromechanical actuator (10), wherein an electrical component (12) formed as a stack (14) of piezoceramic layers (16) and electrode layers (18) is provided, to at least one lateral surface (20) of which electrical component an insulation layer (30) is applied, wherein an electrode layer (18) is exposed in that first a layer thickness (D) of a locally limited insulation layer region (34) to be removed is sensed and then a removal rate for removing the insulation layer region (34) is adapted to the sensed layer thickness (D). |
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