Gripper for gripping a substrate and apparatus including the same

The present invention relates to a gripper for gripping a substrate and an apparatus having the same. The gripper for gripping a substrate comprises: first and second grippers rotatable about a common axis of rotation, each gripper having an end unit engaged with an upper surface and a lower surface of the substrate, respectively; first and second cam followers respectively provided at the opposite ends of the first and second grippers opposite to the end unit; a first cam plate supporting the first cam follower and having a first inclined surface; a second cam plate supporting the second cam follower and having a second inclined surface inclined in the direction opposite to the first inclined surface; and a driving unit moving the first and second cam plates in the horizontal direction so that the first and second grippers grip or release the substrate. 기판을 파지하기 위한 그리퍼는 공통 회전축을 중심으로 회전 가능하도록 구비되며, 일단부가 맞물려 기판의 상부면 및 하부면을 파지하는 그립부를 각각 갖는 제1 및 제2 그리퍼들과, 상기 제1 및 제2 그리퍼들에서 상기 일단부과 반대되는 타단부에 각각 구비되는 제1 및 제2 캠 팔로워들과, 상기 제1 캠 팔로워를 지지하며 제1 경사면을 갖는 제1 캠 플레이트와, 상기 제2 캠 팔로워를 지지하며 상기 제1 경사면과 반대 방향으로 경사진 제2 경사면을 갖는 제2 캠 플레이트 및 상기 제1 및 제2 캠 플레이트들을 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 제1 및 제2 그리퍼들에 의해 상기 기판이 파지 또는 해제되도록 하는 구동부를 포함할 수 있다.