Ring assembly and chuck assembly having the same

본 발명은 링 어셈블리 및 이를 포함하는 척 어셈블리에 관한 것이다. 본 발명의 링 어셈블리는 기판을 지지하는 척 본체를 둘러싸는 에지 링을 포함한다. 에지 링은 제1 상측면; 상기 제1 상측면의 외측에, 상기 제1 상측면보다 상측에 위치되는 제2 상측면; 상기 제1 상측면과 상기 제2 상측면을 연결하는 제1 내측면; 및 상기 제1 상측면 및 상기 제1 내측면 중 어느 하나로부터 외측을 향해 연장되어, 상기 에지 링을 관통하는 적어도 하나의 제1 유동 홀을 포함할 수 있다. A ring assembly and a chuck assembly therewith are provided. The ring assembly may include an edge ring that is provided to enclose a chuck body supporting a substrate. The edge ring may include a first top surface, a second top surface positioned outside the first top surface and above the first top surface, a first inner side surface connecting the first top surface to the second top surface, and at least one first flow hole extending outward from one of the first top surface and the first inner side surface, thereby penetrating the edge ring.