공간 왜곡 유사도를 사용하는 툴 오류 분석

제작 프로세스들과 연관된 툴 오류 분석을 용이하게 하기 위한 시스템들 및 기술들이 제시된다. 모니터링 컴포넌트는 하나 이상의 제작 툴과 연관된 한 세트의 센서들에 의해 생성된 센서 데이터에 기반하여 하나 이상의 제작 툴과 연관된 후보 툴 오류를 결정한다. 시그니처 컴포넌트는 하나 이상의 제작 툴과 연관된 데이터에 기반하여 후보 툴 오류에 대한 시그니처 데이터세트를 생성한다. 비교 컴포넌트는 시그니처 데이터세트 및 적어도 하나의 이전에 결정된 툴 오류와 연관된 적어도 하나의 다른 시그니처 데이터세트에 기반하여 후보 툴 오류를 적어도 하나의 이전에 결정된 툴 오류와 비교한다. Systems and techniques to facilitate tool failure analysis associated with fabrication processes are presented. A monitoring component determines a candidate tool failure associated with one or more fabrication tools based on sensor data generated by a set of sensors associated with the one or more fabrication tools. A signature component generates a signature dataset for the candidate tool failure based on data associated with the one or more fabrication tools. A comparison component compares the candidate tool failure to at least one previously determined tool failure based on the signature dataset and at least one other signature dataset associated with the at least one previously determined tool failure.